2024年是新中國成立75周年，是實現“十四五”規(guī)劃目標任務的關鍵一年。為全面貫徹落實黨的二十大精神和習近平文化思想，中國有研舉辦了“思想領航 賦能向新”優(yōu)秀故事征集活動。參賽作品充分展現集團上下深入貫徹落實“1+360+N”有研特色黨建工作體系，圍繞中國有研作為中央企業(yè)行業(yè)院所“托底、引領和賦能”三大核心功能，在服務國家重大戰(zhàn)略、強化創(chuàng)新引領、履行社會責任、弘揚時代新風等方面作出的新貢獻、新成就，生動講述了有研人在平凡崗位上創(chuàng)造非凡業(yè)績的奮斗故事。

本期推出“思想領航 賦能向新”有研故事系列展播（二）——牢記使命，區(qū)熔硅單晶創(chuàng)新團隊奔向新征程！

作者：有研硅 王永濤

區(qū)熔硅單晶創(chuàng)新團隊，依托集成電路關鍵材料國家工程研究中心及有研半導體硅材料股份公司區(qū)熔事業(yè)部組建，是國內最早開展區(qū)熔硅單晶材料的研發(fā)團隊。團隊現有核心成員9人，其中正高級工程師1人、高級工程師2人、生產技術人員6人。團隊系統(tǒng)開展超高純區(qū)熔硅單晶制備技術、區(qū)熔單晶自動放肩技術和區(qū)熔熱場設計技術等關鍵技術研發(fā)；榮獲授權專利12篇，參與制定國家標準2項，實現了8英寸區(qū)熔單晶的批量化生產，是國內僅有的兩家掌握相關技術的廠家之一，產品技術指標達到國際先進水平，同時有力推動了區(qū)熔多晶和區(qū)熔爐的國產化應用，有效彌補了國內短板，保障了我國新能源、高鐵等領域用電力芯片供應鏈自主可控。

10年前，即使是這樣優(yōu)秀的團隊仍要面對殘酷的市場淘汰，不得不直面生死存亡問題。進入21世紀10年代中期，區(qū)熔硅單晶的市場價格直接腰斬，一度輝煌的區(qū)熔硅單晶產業(yè)變得不堪一擊，加之自身長期存在的一些隱性問題，在發(fā)展緩慢之后暴露出來，讓整個團隊驚出一身冷汗。由于遠離終端市場，對市場需求的了解不夠充分，產品逐漸脫離市場。面對市場主流產品已經逐步過渡到5英寸甚至是6英寸、8英寸產品時，我們的產品仍集中在4英寸及以下，5英寸產品收率還不穩(wěn)定，6英寸產品還在研發(fā)。當時，還面臨著技術傳承斷層，生產效率、產品收率低于市場水平，生產成本遠高于市場價格等一系列問題。

回顧過往，我們何其自豪，歷史上的區(qū)熔硅單晶創(chuàng)新團隊在1961年成功拉制了中國第一顆區(qū)熔硅單晶，在1990年至1999年相繼成功拉制了國內第一顆3寸、4寸、5寸半導體級區(qū)熔硅單晶，是國內最早開展區(qū)熔硅單晶材料研究及產業(yè)化的單位?，F如今技術落后、產品落后、前途暗淡、前景渺茫。從繁榮到衰敗的落差在大家心里形成了巨大的旋渦，讓人深陷其中，難以掙脫。此時的團隊出現了動搖，有的老技術人員離開了，新技術人員還未成長起來，想要堅守拼搏下去的人此時也沒了方向，只能獨自掙扎轉個不停。

2012年的區(qū)熔車間

2024年的區(qū)熔車間

迷茫之際，中國有研黨委書記、董事長趙曉晨多次前往有研硅順義廠區(qū)區(qū)熔硅單晶車間調研指導，不斷鼓勵團隊成員，并為未來的發(fā)展指明了方向。他指出，半導體區(qū)熔單晶硅片是半導體硅材料中的細分領域，已成為國內半導體材料領域電力電子芯片供應鏈中不可或缺的一環(huán)，其高純度、高電阻率、低氧含量等優(yōu)點，是制造高壓整流器等大功率器件、探測器、傳感器等敏感器件的核心材料，可廣泛應用于雷達、微波通訊、測控、導航、醫(yī)學等領域，對國民經濟的發(fā)展和國防建設具有十分重要的意義。特別是近年來，伴隨高速鐵路、新能源汽車、電力傳輸等領域的快速發(fā)展，建立在區(qū)熔硅單晶基礎上的中高壓功率器件展現出廣闊的應用前景，市場需求保持旺盛。他對團隊成員寄予希望，我們要以國家戰(zhàn)略需求為導向，通過區(qū)熔硅單晶制備技術創(chuàng)新，不斷提升產品質量，保障核心材料自主可控；并希望我們時刻懷揣著激情與夢想，懷揣著對未來的憧憬與渴望，以只爭朝夕的精神，加快推進科技創(chuàng)新和技術研發(fā)進程。

彷徨之際，有研硅黨總支書記、總經理張果虎多次召開技術討論大會，大力支持項目團隊，明確技術發(fā)展路徑。他鼓勵我們要積極發(fā)揮區(qū)熔硅單晶制備技術平臺優(yōu)勢，進一步全面推進原材料和設備的國產化，要積極與國內多家材料供應商和設備制造商建立合作關系，共同攻克技術難關，逐步實現從多晶硅原料到拉晶設備的全面國產化，大大降低生產成本，提高生產效率，從源頭實現真正的國產替代。他也希望我們以嚴謹的科研作風，突出的科研能力，優(yōu)秀的綜合素質，不斷攻關研發(fā)過程中技術難點，持續(xù)破解前進道路上的發(fā)展難題。

區(qū)熔硅單晶創(chuàng)新團隊以國家戰(zhàn)略需求為導向，以市場需求為指引，開拓進取，以人才引進和科技創(chuàng)新為抓手，勤修內功，技術水平和產品質量顯著提升。

2021年，團隊成功研發(fā)了自動放肩技術，超高純區(qū)熔硅單晶拉制技術和氣相摻雜區(qū)熔硅單晶拉制技術也持續(xù)提高，使得區(qū)熔硅單晶2021年的產量較2019年提升230%。

2022年，團隊實現了8英寸半導體級區(qū)熔硅單晶的批量生產，達到國際先進水平；同時，新車間升級改造完成，新區(qū)熔單晶爐也安裝到位，使得區(qū)熔硅單晶當年產量較2021年提升41%。

2023年，團隊成功開發(fā)出8英寸本征及氣摻區(qū)熔硅單晶，憑借其導電型號全、電阻率范圍寬、成本低、生產周期短的優(yōu)點，極大擴展了產品應用范圍，已通過株洲中車、士蘭微、青島芯恩、艾佛廣通等廠家驗證，并在2024年初實現8英寸區(qū)熔產品的批量銷售，有效彌補了國內短板。

8英寸本征及氣摻區(qū)熔硅單晶

現如今，區(qū)熔硅單晶創(chuàng)新團隊正邁著堅實的步伐，一路前行，走到了行業(yè)領域的前面，站在技術領域的排頭。未來，我們將在黨組織的帶領下，不畏艱難，奮勇向前，引領區(qū)熔硅產業(yè)走向新征程！